為了使歷史研究試樣能在掃描電鏡的真空中穩(wěn)定地觀察表面形貌【有時是內(nèi)部】，并保證圖像質(zhì)量，必須在觀察前對非導(dǎo)體的材料進行導(dǎo)電處理。常用的處理的方法有金屬鍍膜法【真空蒸發(fā)法和離子濺射法】，導(dǎo)電染色法，電鍍法，陽極氧化法等。其中金屬鍍膜法和導(dǎo)電染色法因為適應(yīng)性廣，對各類材料【包括生物樣品，非金屬等】均可采用。
金屬鍍膜的優(yōu)點：
提高了圖像質(zhì)量；
使圖像更真實；
防止或減輕電子束對樣品的損傷。
非導(dǎo)體試樣表面噴鍍一層導(dǎo)電膜，這層導(dǎo)電膜必須滿足如下要求：
厚度盡可能均勻；
膜本身沒有結(jié)構(gòu)或者是微細到難以查處的程度；
膜要薄，不會掩蓋樣品表面原來的微細結(jié)構(gòu)；
這層膜對二次電子的發(fā)生率要多；5.膜本身不能因為掃描電子束的入射而發(fā)生變化，在大氣中保存樣品不變質(zhì)，在化學(xué)上要穩(wěn)定。
一.金屬鍍膜法
1.真空蒸發(fā)噴鍍
原理：金屬在真空中加熱到某種程度時就會熔化蒸發(fā)，蒸發(fā)的金屬在樣品表面形成一薄層金屬膜。
特點：對樣品損傷小，污染小，可噴鍍銅，鋁等廉價金屬。對于表面凹凸較大的材料，可先噴上一層碳，再鍍上一層金屬膜。
2.離子濺射噴鍍： 在離子濺射鍍膜機中，擬噴鍍的金屬板為陽極，樣品臺為陰極這部分裝置密封在玻璃罩中，對其抽真空。當(dāng)真空度達到1.33~13.33Pa時，在陽極和陰極700~2500V高電壓。極間產(chǎn)生輝光放電，形成等離子區(qū)。正離子在等離子區(qū)電場加速作用下轟擊陰極，濺射出金屬粒子，由于金屬粒子彈出方向是隨意的，它和殘余氣體分子碰撞，從各個方向均勻地落到樣品表面上。
特點：鍍膜細膩，鍍膜均勻，沒有死角，鍍膜厚度容易控制，金屬利用率高。鍍膜材料的選擇取決于鍍膜的目的，鍍膜方式以及鍍膜材料本身的性質(zhì)。
二.導(dǎo)電染色法
導(dǎo)電染色大【又稱組織導(dǎo)電法】是利用某些金屬鹽溶液對生物組織的蛋白質(zhì)，脂類，淀
粉等成分的結(jié)合作用，使樣品表面離子化或產(chǎn)生導(dǎo)電性能良好的金屬化合物，從而提高樣品
耐受電子束轟擊的能力和導(dǎo)電率。